XAD系列X荧光光谱仪是一款全元素上照式光谱仪，可测量纳米级厚度、微小样品和凹槽异形件的膜厚，也可满足微区RoHS检测及多元素成分分析，先进的算法及解谱技术解决了诸多业界难题。

    性能优势：

    1.微小样品检测：最小测量面积0.0085mm²

    2.变焦装置算法：可改变测量距离测量凹凸异形样品，变焦距离可达0-90mm

    3.核心EFP算法：Al(13)-U(92)元素的成分分析，Li(3)-U(92)元素的涂镀层检测，多层多元素，甚至有同种元素在不同层也可精准测量

    4.先进的解谱技术：减少能量相近元素的干扰，降低检出限

    5.高性能探测器：SDD硅漂移窗口面积50mm²探测器

    6.X射线装置：微焦加强型射线管搭配聚焦装置

    7.上照式设计：实现对超大样品或者密集点位进行快、准、稳高效率测量

    8.大行程移动平台：手动XY滑台100*150mm，自动XY平台210*260mm

    应用领域：

    涂镀层分析-RoHS检测-地矿全元素分析-合金、贵金属检测